
ASML étend la lithographie EUV : du DUV au High-NA et Hyper-NA
Les machines qui fabriquent les puces les plus avancées au monde sont devenues l’un des éléments les plus délicats de l’économie technologique. Elles ne s’entraînent pas pour des modèles d’intelligence artificielle, n’apparaissent pas dans les centres de données ni n’atteignent directement le consommateur final. Pourtant, sans elles, il n’y aurait pas de processeurs alimentant les smartphones, GPU, serveurs, voitures connectées ou accélérateurs d’IA. Au cœur de cette chaîne se trouve ASML, l’entreprise néerlandaise qui domine la lithographie EUV et qui dessine déjà sa feuille de route jusqu’à la prochaine décennie. La présentation d’ASML lors de SPIE 2026 illustre bien l’état actuel de l’industrie : les outils EUV à faible ouverture numérique continueront d’évoluer durant plusieurs années, les systèmes High-NA commencent




