
La Russie complète une lithographe de 130 nm, mais elle est encore loin de produire des puces en série
La Russie a achevé la troisième phase de développement de sa première machine de lithographie capable de traiter des wafers jusqu’à 200 mm de diamètre avec une résolution de 130 nanomètres (nm). Ce prototype, conçu par le Centre de Nanotechnologie de Zelenograd (ZNTC) en collaboration avec l’entreprise biélorusse Planar, est désormais en phase de tests internes. Cependant, il doit encore franchir plusieurs étapes avant de pouvoir être utilisé en fabrication industrielle pour la production de puces à grande échelle. Les points clés du lithographe russe de 130 nm en 20 secondes Le ZNTC a finalisé la troisième étape du développement d’un lithographe de 130 nm pour wafers jusqu’à 200 mm. Le système utilise des lasers excimères de 193 nm, une




