JSR a récemment inauguré une nouvelle usine dédiée aux matériaux pour semi-conducteurs à Ochang, dans la ville de Cheongju en Corée du Sud. Cette installation est destinée à la production de résines à base d’oxyde métallique (MOR) utilisées dans les procédés de lithographie ultraviolette extrême (EUV). Opérée par sa filiale JSR Micro Korea, cette usine a été achevée le 30 septembre 2026 et permet désormais de réaliser en Corée du Sud la dernière étape de fabrication de ces matériaux avancés pour l’industrie des semi-conducteurs.

Les points clés de la nouvelle usine de JSR en Corée du Sud en 20 secondes

• Elle est située dans la zone d’investissement étranger d’Ochang, à Cheongju.
• C’est la première plateforme de production de JSR dédiée aux résines MOR pour la lithographie EUV.
• Ce matériau offre une meilleure résistance à l’étamage comparé aux résines organiques classiques, limitant ainsi le risque de déformation des motifs lors du processus.
• JSR vise ainsi à répondre plus efficacement aux besoins de ses clients sud-coréens tout en renforçant la production locale et le contrôle qualité.

Ce lancement intervient à un moment où l’industrie des semi-conducteurs nécessite des matériaux capables de satisfaire des standards de plus en plus précis pour fabriquer des motifs ultrafins. La lithographie EUV permet de créer des structures très fines sur des wafers de silicium, mais la performance dépend aussi des propriétés des matériaux photosensibles employés durant la fabrication.

Cette nouvelle usine rapproche la production de ces matériaux des clients en Corée du Sud, un des principaux centres mondiaux de fabrication de mémoire et de semi-conducteurs. Toutefois, aucune indication n’a été donnée concernant la capacité annuelle de l’installation ni la date à laquelle elle atteindra sa production commerciale optimale.

Les avantages de la résine MOR dans la fabrication de puces

Les résines MOR, acronyme de Metal Oxide Resist (résistance à l’oxyde métallique), sont des matériaux photosensibles inorganiques à base d’oxydes métalliques. Elles sont utilisées en lithographie pour définir des motifs sur les wafers, qui seront ensuite transférés dans les couches du semi-conducteur par gravure.

Selon les informations de The Elec, l’un de leurs principaux atouts par rapport aux matériaux organiques est leur résistance accrue à la gravure. Cette propriété contribue à préserver la structure lors du processus de fabrication et à diminuer le risque de défaillance des motifs à haute précision.

Les MOR constituent ainsi une alternative ou un complément aux résines à amplification chimique (CAR, Chemically Amplified Resists), couramment utilisées en photolithographie. Le choix du matériau dépend des exigences spécifiques du processus, et l’ouverture de cette nouvelle usine n’implique pas nécessairement la substitution généralisée des résines classiques par les MOR.

JSR a commencé à commercialiser cette technologie après avoir acquis l’américaine Inpria en 2021. La nouvelle usine en Corée sera sa première plateforme dédiée à la production de résines MOR pour EUV, prenant en charge l’étape finale de la fabrication. L’annonce ne précise pas si les étapes précédentes de production se feront également en Corée ni le volume de matériaux que cette usine pourra fournir.

Pour les fabricants de semi-conducteurs, disposer de matériaux spécialisés à proximité de leurs sites peut réduire les délais de livraison et améliorer la coordination avec les fournisseurs. JSR indique son objectif d’accélérer la réponse à ses clients locaux prioritaires tout en renforçant ses capacités de production et de contrôle qualité en Corée.

JSR consolide sa présence industrielle en Corée du Sud

Fondée en 2003 à Ochang, JSR Micro Korea s’était initialement concentrée sur les matériaux pour écrans. La nouvelle usine étend aujourd’hui son champ d’action aux matériaux avancés pour semi-conducteurs, créant une base de production nationale pour les résines MOR.

La cérémonie de mise en service a été marquée par la présence de Tetsuro Hori, président et CEO de JSR ; Takahiro Iijima, président de JSR Micro Korea ; Shin Yong-han, gouverneur du Chungcheong du Nord ; et Shin Byeong-dae, vice-maire de Cheongju.

L’entreprise espère que cette installation contribuera à assurer un approvisionnement stable en matériaux spécialisés pour l’industrie sud-coréenne. Toutefois, la documentation disponible ne mentionne pas encore les clients finaux, ni le volume des commandes anticipées, ni les investissements, emplois ou capacités de production précis

Ces données seront essentielles pour évaluer la dimension commerciale de l’usine. Pour l’instant, la confirmation concerne la finalisation de l’Établissement et son orientation vers la phase finale de fabrication des résines MOR pour lithographie EUV.

Questions fréquentes

Que produira JSR dans sa nouvelle usine en Corée du Sud ?

L’usine fabriquera des résines à base d’oxyde métallique, appelées MOR, destinées aux procédés de lithographie ultraviolette extrême utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs.

Où se situe l’usine ?

Elle se trouve dans la zone d’investissement étranger d’Ochang, à Cheongju, dans la province de Chungcheong du Nord.

Quels sont les avantages des résines MOR ?

Elles offrent une résistance accrue à la gravure par rapport aux matériaux organiques, et peuvent réduire la déformation des motifs lors de la fabrication de structures très fines.

Quand JSR a-t-il commencé à commercialiser cette technologie ?

JSR a lancé la commercialisation des résines MOR après avoir acquis la société américaine Inpria en 2021.